Jordan Optical Engineering GmbH

Konfokale 3-D Mikroskopie

Eine Auswahl historischer Ergebnisse aus den Arbeiten, die zu meiner Dissertation geführt haben.

Referenz zum Vergleich der konfokalen Weißlichtmikroskopie mit taktilen Sensoren
Ein Schreiben von Dr. Hillmann, Leiter des Labors für Oberflächen der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt PTB (1995), zu den Ergebnissen im Rahmen meiner Dissertation.

Jordan_Referenz-PTB.pdf (61,0 KiB)

PTB-RN-4058/01

Bild 1: Vergleich an einem PTB Raunormal 4058/01 Stufe 3 (Ra = 1,45 µm). Das untere blaue Profil zeigt die mikroskopische Messung, das obere rote Profil die taktile Referenzmessung.

Bild 2-4: Vergleich an einem PTB Raunormal. 4058/01 Stufe 1 (Ra = 0,20 µm). Die roten Profile in Bild 2 zeigen die taktile Referenzmessung, oben als Gesamtprofil, unten als Ausschnitt. Bild 3 zeigt die äquivalente mikroskopische Messung. Bild 4 zeigt den Profilvergleich zwischen taktiler und mikroskopischer Messung.

PTB-TE-4060

Bild 1 zeigt die Messung an der tiefsten Rille (9 µm) des PTB Tiefeneinstellnormals.

Bild 2 zeigt die Messung an einer flachen Rille (0,6 µm) des PTB Tiefeneinstellnormals. Die Rillen des PTB Tiefeneinstellnormals werden in einen polierten Glasblock geläppt. Läppriefen von einigen 10 nm Tiefe sind in der flachen Rille deutlich erkennbar.